原子层沉积成套装置
资产编号：
S1907108
联系人：
葛汉青
联系电话：
邮箱：
规格型号：
FH-2 FH-2
放置地点：
(长安校区) 化工楼110
生产厂家：
西安近代化学研究所
制造国家：
购置日期：
1970-01-01
入网日期：
2026-06-22
入网日期：
2026-06-22
购置日期：
1970-01-01
仪器价格：
429000
仪器产地：
分类号：
出厂日期：
1970-01-01
资产负责人：
葛汉青
主要规格及技术指标:
项目分类 技术要求 前驱体供给系统 前驱体通道不少于六路：其中易挥发性液体三路，难挥发性液体及固体通道不少于两路，气体通道一路。对难挥发性前驱体通道的加热温度不低于270 ℃，对易挥发性液体前驱体通道的加热温度不低于70 ℃，气体通道除适用于一般非腐蚀性气体外，还需适用于臭氧等。 反应器系统 反应器管径为50 mm，长度为800 mm，可加热温度不低于400 ℃。另外需有4个样品台。同时保持零部件组装与拆卸的灵活性，以便与其他设备串联。 真空系统 1. 整个过程中需保证系统的密封性，并且其极限压力不高于1 Pa； 2. 运行过程中，气体的抽速需达到6 m3/h。 控制系统 1. 真空控制系统，需控制压力从1 Pa到大气压范围内可调； 2. 温度控制系统，需满足八路温控，其精度需达到1 ℃； 3. 流量控制系统，需满足四路流量在0~500 sccm范围内精确可控，其精度需达到1 sccm； 4. 阀门控制系统，需满足18组阀门开关时序控制； 5. 反应控制系统，需实现常规生长模式、夹层生长模式、合金生长模式、准静态模式等多种需要的生长模式； 6. 计算机控制系统，以上各系统均需要通过计算机软件实现可控操作。
主要功能及特色:
粉体催化剂制备
主要附件及配置:
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|