主动隔振频率范围：0.5~100Hz。 自由度：三轴 6 自由度。 隔振系统承载范围：1500kg。 复位时间：0.5sec。 复位精度：±0.001~0.050mm（定位精度可能因安装场所的环境、搭载物的特性、控制方法等而变化）。 振动控制方式：FeedBack & Floor Feedforward 控制，FeedBack 控制系统传感器探测基台振动、位移，通过伺服阀控制执行器产生反向振动位移抑制、消除基台振动、位移；Floor Feedforward 控制系统传感器探测地面振动，通过伺服阀控制执行器产生反向振动，隔离地面振动传递到基台。 传感器：主动隔振单元内置高精度振动传感器，精度 100V/m/S 和涡电流式位移传感器，精度 0.001mm。 传感器数量 17。 隔振单元尺寸 W x D x H [mm]：240x240x191。 控制器尺寸 W x D x H [mm]：435x300x118。 控制器功能：隔振单元执行器“浮起”与“收缩”控制；FB&FloorFF 控制；增益优化控制；故障问题提示功能；巨大振动提示功能。 模块化隔振系统。

核心功能 6 自由度全主动隔振，同时控制垂直、水平、俯仰、横滚、偏航6 个方向，全方位抑制微振动。 FB+FloorFF 复合控制 FB（反馈控制）：实时检测设备振动，快速修正，抑制设备自身扰动。 FloorFF（地面前馈）：提前感知地面振动，主动抵消，大幅提升低频隔振效果。 气动驱动 + 低功耗 用0.6–0.8 MPa 清洁干燥空气驱动，响应快、无电磁干扰、功耗低（最大 120VA）。 自动水平与稳定 内置自动调平，适配设备重心偏移，保持长期稳定。 宽承载适配 4 台组合可承载500–1500 kg设备，适配中高精度精密机台。

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