1)测量通道:通道数≥4; 2)控温范围:室温-500 °C,调节精度1 °C; 3)测量范围:1 Ω-4 GΩ,全自动测量无需换挡; 4)测量精度:±1Ω,±2%读数; 5)采集间隔:最小采集间隔≤1s,连续可调;采集时间:> 1s,连续可调; 6)气室体积:≤ 20L 7)3D探针调节:前后行程1.5 cm,垂直行距0.5 cm(可更换探针),精度15 μm; 8)同时支持气体稀释剂配气、液体蒸发配气和动态连续配气; 9)标配动态配气系统 a. 气路通道包括1路背景气体和2路目标气体 背景气路:满量程1 slm,控制范围2%~100%(20 sccm~1000 sccm); 目标气路1:满量程300 sccm,控制范围2%~100%(6~300 sccm); 目标气路2:满量程2 sccm,控制范围2%~100%(0.04~2 sccm)。 b. 全自动配气,可程序式设定配气流程,支持两种控制模式。 浓度模式:程序设定配气流程,如设定好气源信息,配气的流速、浓度、时间、循环等信息,系统即可自动进行配气 流量模式:单独设定各气路的流量进行配气 c. 防腐性能:耐各类强腐蚀性气体(如硫化氢)以及各类易挥发性液体(如甲醛溶液) d. 稀释比例:气体最大比例高于10000:1(氮气) e. 湿度配置接口预留,用于扩展湿度发生系统,配置不同湿度下的气体氛围 f. 液体配气接口预留,用于扩展液体配气,实现ppb级别VOC、甲醛、乙醇等气体配置 g. 响应恢复快速切换气室:≤100mL 10)机械泵极限真空度:1×10-1Pa;,抽速4 L/min; 11)器件观察窗:石英材质,支持光敏、光敏气敏等研究; 12)水循环箱:空载最低温度-15 oC,速度20 L/min; 13)液体蒸发器:控温不低于170oC,调节精度1 oC; 14)预留1对电极引线,支持光电、晶体管等特性的综合研究; 15)测试环境温度监控:0 oC~80 oC,精度1 oC; 16)测试环境湿度监控:2%RH~80%RH,精度1%RH; 17)测试环境气压监控:0.8 Pa~常压; 18)通讯接口:USB;控制方式:8寸触摸屏;
用于纳米材料的气敏特性研究,进行气体传感器性能分析。
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