1、高功率源测量单元 (HPSMU) ? 高达 200 V / 1 A ? 4档量程:200v /50mA;100V/125mA;40V/500mA;20V/1A ? 最小 10 fA / 2μV 分辨率 最小 100 μs 采样率 (时域)测量 最小脉宽 500 μs, 100 μs分辨率 准静态电容电压 (QSCV)测量, 具有泄漏电流补偿 4 象限工作 Kelvin (4 线)连接 点测量、扫描测量和其他能力 2、中功率源测量单元 (MPSMU) ? 高达 100 V / 0.1 A ? 3档量程:100v /20mA;40V/50mA;20V/100mA ? 最小 10 fA / 0.5μV 分辨率 3、前置放大器开关 电流最小分辨率 0.1 fA,可以不换线进行IV/CV测试切换 超快脉冲测量 4、波形发生器/快速测量单元 (WGFMU) ? 用于波形生成的 10 ns 程控分辨率 ? 200 MSa/s 同时高速测量 ? 10 V 峰峰值输出 ? 无负载线效应; 使用 SMU 技术进行精确的脉冲 IV 测量 ? 支持 NBTI/PBTI、RTN 等先进应用脉冲生成 5、配置器件测试盒 6、测试软件 (1)内置丰富的元器件测试库。超过 300 种应用测试,可以从程序库中按照器件类型和指定测量 (2)支持数据自动存储记录及历史测试数据导入。 (3) 四种测试模式:快速测试,经典测试,应用测试,曲线追踪仪。具备模拟晶体管图示仪曲线追踪功能 (4)测试软件参数库:软件内置CMOS的典型静态参数测试及分析库,同时可内置算法并计算相关参数 7、多通道SMU扫描,您能以电流模式和电压模式的任意组合同步地扫描所有SMU, 也能在所有SMU 上进行同时的并行测量。 8、提取建模参数,B1500A 支持所有常见的软件建模工具,包括Agilent ICCAP, ProPlusDesign Solution BSIMProPlus 和Silvaco UTMOST。您可以在无需编程或者与仪器互动的情况下,通过使用这些工具,利用B1500A的高精度和高分辨率提取极精确的建模参数。
此设备主要用于教学和研发,分析半导体器件,微电子器件,还对诸如氧化层厚度栅面积、串联电阻、平带电容,电压、开启电压、搀杂浓度,激子寿命,可动电荷等工艺参数进行分析。测试二极管、三极管、可控硅管、场效应管和三端稳压器件等半导体器件,进行直流参数的测试和分析,进行合格/不合格判断,对器件进行分选。
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