场发射扫描电子显微镜
资产编号：
联系人：
何攀
联系电话：
邮箱：
规格型号：
SU8660
放置地点：
1117
生产厂家：
Hitachi High-Tech Corporation
制造国家：
日本
购置日期：
2025-12-11
入网日期：
2026-09-17
入网日期：
2026-09-17
购置日期：
2025-12-11
仪器价格：
5986000
仪器产地：
日本
分类号：
出厂日期：
2025-12-11
资产负责人：
何攀
主要规格及技术指标:
1.1 二次电子图像分辨率：0.6nm@15kV。
1.2 二次电子图像分辨率：0.7nm @1KV。
1.3 加速电压：0.01～30kV，10V 步进连续可调。
1.4 具备样品台减速及镜筒内电磁场加速配置。
1.5 放大倍数：20 倍～200 万倍
1.6 电子枪：超高分辨冷场发射电子枪（含柔性自动Flash 系统）
1.7 电子束流范围：3pA~20nA。
主要功能及特色:
形貌观察，能谱分析
主要附件及配置:
平插能谱仪，布鲁克 Bruker，FlatQuad；
斜插能谱仪，布鲁克 Bruker，QuantaXFlash7100，短工作距离6mm
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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