X射线光电子能谱仪
资产编号：
S2008678
联系人：
翁强
联系电话：
15802929654
邮箱：
规格：
放置地点：
XPS实验室
生产厂家：
赛默飞世尔科技有限公司
制造国家：
中国
购置日期：
2020-12-11
入网日期：
2021-11-04
型号：
Escalab Xi+
购置日期：
2020-12-11
入网日期：
2021-11-04
资产负责人：
翁强
购置日期：
2020-12-11
仪器价格：
5085300
仪器产地：
中国
分类号：
010303
出厂日期：
2020-12-11
主要规格及技术指标:
1.1 配备单色化Al靶射线源。
1.1.1 单色器：石英晶体单色器；单色化光源阳极靶，使用单一 Al Kα 靶源，可更换新鲜靶点数20个。
1.1.2最佳能量分辨和灵敏度：对 Ag 3d5/2 峰，0.45eV@160kcps。
1.2双阳极靶射线源：Al/Mg 双阳极，单源功率400W，能量分辨和灵敏度：对Ag 3d5/2峰，能量分辨优于0.82eV时，灵敏度优于675,000 cps。
1.3X射线束斑
最小束斑尺寸20 μm，束斑大小20-900 μm连续可调，可应对大面积和微区分析需求。
2.采谱和能量分析器
2.1 类型：180°双聚焦半球形能量分析器，μ金属材质。
2.2 平均半径：150 mm。
2.3 通过能： 1-400eV范围连续可调，调节步长可低至0.1eV。
2.4能量扫描范围： 0-5000 eV。
3.能量传输透镜
主要功能及特色:
整套设备具备XPS（含元素化合态成像和角分辨XPS）、离子深度刻蚀（包括单原子离子枪、团簇离子枪）、UPS紫外光电子能谱、离子散射谱（ISS）、反射电子能量损失谱（REELS）、超高真空实现与监测功能以及实现上述功能的部件；可进行有机、无机、金属等各种材料的表面几个原子层（1-10nm 厚的表面）的化学组成、价态，深度剖析及成像、功函数特性的分析与表征。
主要附件及配置:
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
表面清洁（5分钟以内）：50元/样（校内）；150元/样（校外）
XPS常规（Al靶）：100元/样（校内）；300元/样（校外）；注1
XPS（双阳极）：200元/样（校内）；600元/样（校外）；注1
XPS加扫（计量）：10元/圈（校内）；30元/圈（校外）
XPS加扫（计时）：600元/小时（校内）；无（校外）
XPS深度剖析：800元/小时（校内）；2400元/小时（校外）
XPS成像：600元/小时（校内）；1800元/小时（校外）
角分辨XPS：600元/小时（校内）；1800元/小时（校外）
UPS测试：200元//样（校内）；600元/样（校外）
XPS价带谱：100元/样（校内）；300元/样（校外）
注1：包含4个元素，4个元素以上，校内每个元素加30元，校外每个元素加50元。